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　　水合抛光是利用在工件界面上产生的水合反应的新型高效、超精密抛光方法。其主要特点是不使用磨粒和加工液,而加工装置又与当前使用的抛光机相似,只是在水燕气环境中进行加工。因此,要尽量避免使用能与工件产生固相反应的材料作抛光盘。在普通抛光机上,给抛光工件的部位加上耐热材料罩,使工件在过热水燕气介质中进行抛光。通过加热,可调节水蒸气介质的温度。随着抛光盘的旋转,工件保持架在它上边作往复运动。

　　在水合抛光过程中,两个物体产生相对摩擦,在接触区产生高温高压,工件表面上的原子或分子呈活性化。利用过热水燕气分子和水作用其表面,使之在界面上形成水合化层。借助过热水蒸气(不是用游离磨粒)或在一个大气压的水蒸气环境条件下利用外来的摩擦力从工件表面上将该水合化层分离、去除,去除量(厚度)为零点几个纳米,所以可获得无划痕、平滑光泽无略变的洁净面。