精密加工和超精密加工的发展已从单纯的技术方法形成制造系统工程，简称精密工程，其工程的体系结构如图0-5所示。它以产品为核心，体现了以市场需求为导向；以人、技术、组织为基础，体现了人、技术、组织的三结合，强调了人的作用、技术的关键性和组织的重要性；它涉及微量和超微量去除、结合、变形加工技术，高稳定性和高净化加工环境，检测与误差补偿，工况监测与质量控制，被加工材料等，可见范围很广。
精密工程是一个制造系统，其系统由物质分系统、信息分系统、能量分系统所构成，与一般制造系统有许多相同的共性技术、基础和关键问题，但在精密度的层次上要高得多、涉及面也更广。
前已述及，精密加工和超精密加工是一个总称，可简称精密加工。精密加工和超精密加工在当前应包括亚微米加工、纳米加工、微细加工、超微细加工、光整加工、精整加工等，这些都是其组成部分，各部分的侧重点不同。亚徽米加工是指加工精度在1pm以下，纳米加工是指加工精度在纳米级，上面两者可合称微纳米加工；微细加工和超微细加工侧重于徽小零件和微小尺寸的加工，多以集成电路与微型机械为对象，与徽电子技术联系密切；光整加工强调了表面粗糙度值的降低和去除毛刺；精整加工是在光整加工的基础上强调了精度的提高。近年来，加工机理被加工材料由于工业技术发展的需要，出现了许多新的组成部分，甚至形成了新的学科，如微型机械。
精密工程的技术难度大、产品技术要求高、投资很大，除基础共性技术外，产品个性比较突人的技艺精密加工出，其实施大多靠产品投资支持，因此，应该以需求为牵引，以**技术为基础，以产品为核心。
