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　　在微位移的范围内,为使工作台具有较高的分辨力,希塑驱动力或输人位移的微小变化微动工作台应有所响应,因此导轨副间的摩擦力及其特性变化,对微动工作台的微位移特性有着重要的影响。

　　滑动导轨摩擦力不是常数,受静动摩擦系数的影响较大摩擦力随相对静止持续时间的增加而增加,随相对滑动速度的增加而减小。滚动导虽然岸擦力的平均值很小,但是由于滚动体和导轨面的制造误差、表面的平面度误差以及隔离架的滑动,使滚动摩擦力在较大的范国内变动,而引起较大的随机误差,因此当滚动导轨作微小间歌运动时,与滑动导轨运动特性图13工作台和传动相类似。也就是说,在微位移范围内,动导轨和滑动导轨都系统模型存在静、动摩擦力之差,均不适合作微动工作台。

　　可见,系统的分辨力受静、动摩擦力之差△F和传动系统的刚度k的影响,欲提高分辨力应减小静、动摩擦力之差和提高系统的刚度。

　　滑动导轨静、动摩擦力之差较大,潨动导轨结构复杂、抗振性差、对脏物敏感,因此两种导轨均不适合作微动工作台。

　　弹性导轨是利用受力后发生弹性变形来实现微位移,故仅存在弹性材料内部分子之间的内摩擦,而且没有间隙,具有高的位移分辨力,是较理想的微位移机。