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　　此项误差来源是指被测件或仪器元件在测量过程中受力产生弹性变形而引起的测量误差。具体地说,有以下几种情况

　　(1)压陷量差值仪器调零位时,测量头对工作台(绝对测量时)或对基准件(相对测量时)表面的压陷量与测量时对工作表面的压陷量之间的差值,将造成测量误差。压陷量W的大小,与测量力、接触方式、接触面的材料、接触件的尺寸等因素有关。

　　(2)仪器构件变形在有测量力的情况下,仪器的框架及有关构件会产生弹性变形。如果调零时和测量时的变形量有差值,则造成测量误差。这种误差可通过试验法测定变形量而求。

　　显然,保持调零时与测量时的测量力稳定,是消除或减小该项误差的主要途径。

　　(3)被测件自重变形对于刚度弱的细长被测件而言,除了因测量力引起的变形外,其本身自重所造成的弯曲变形也会导致不可忽略的测量误差。

　　为了减小此项误差,根据材料力学的理论,正确地选择支承点的位量,以适应不同的要求是很重要的。除了合理选定支承点位置外还可使用可调节的辅助支承,以减速小变形。