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国防科大超精抛光装备通过**专项验收

1纳米是一根头发丝的8万分之一，而小于1纳米则被称为亚纳米——这是国防科大精密工程创新团队在超精密光学零件加工中创造的“中国精度”，有力支撑了“极大规模集成电路制造装备与成套工艺”等3个**重大科技专项创新突破，3年来为**创造直接经济效益2亿多元。近日，该校研制两种超精抛光装备通过**重大科技专项验收。

    超精密加工是以高精度为目标的先进制造技术，纳米精度被誉为超精密加工技术皇冠上的明珠，西方发达**将其视为战略资源，严格限制出口。面对中国光学零件制造水平的窘境，国防科大精密工程创新团队在李圣怡教授率领下，跳过一、二代光学零件制造加工技术，直接瞄准基于可控柔体制造的第三代光学加工方法开展攻关，在国内***次研制出拥有自主知识产权的磁流变、离子束两种超精抛光装备，创造了中国光学零件加工亚纳米的“中国精度”奇迹，使中国光学自动化加工技术及工艺一跃进入世界先进水平，成为继美、德之后第三个掌握高精度光学零件制造加工技术的**，也是目前世界上唯一同时具有磁流变和离子束抛光装备研发能力的**。

    近3年来，该团队与中科院、中国航天科技集团、中国航空工业集团等合作，推动中国空间光学、高端装备制造发展，自主研制出两大类7个型号的磁流变和离子束抛光机床，为“极大规模集成电路制造装备与成套工艺”“高分辨率对地观测系统”等3个**重大科技专项提供技术保障和装备支撑，解决了一系列制约其创新发展的技术难题。团队先后获得科技部重大科技专项颁发的“突出贡献奖”和“突出成果奖”





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文章编辑：郑州4166am金沙信心之选机械制造有限公司  http://www.yumojingshi.com