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　　在超精密机床中,高精度微量进给装置上夹固金刚石刀具,用于刀具微量调整,要求实现精确、稳定、可靠的微位移(有时还要求实现快速微位移),以保证零件尺寸精度。如在超精密磨削中,砂轮的进给量要求达到百分之几微米;在超糖密车削中,金刚石刀具的切深微调也要保证亚微米级的精度。
 

　　微量进给机构也用于超精密机床微量在线误差补偿,位移分辨力要求达千分之几微米。因此一个***的精密和超精密微位移机构应满足下列设计要求。
 

　　1)精微进给和粗进给应分开,以提高微位移的精度、分辨力和稳定性。
 

　　2)运动部分必须是低摩擦和高稳定度的,以便实现很高的重复精度。
 

　　3)末级传动元件必须有很高的刚度,即夹固金刚石刀具处必须是高刚度的。
 

　　4)徽量进给机构内部各连接处必须是可靠连接,连接间隙极小,在可能时尽量采用刚性连接,否则这微量进给机构很难实现很高的重复精度。
 

　　5)工艺性***,容易制造。例如要实现001}m的进给,微量进给机构本身各元件的精度,应是能够制造的精度。
 

　　6)在要求快速微位移时(如用于随机误差补偿),微量进给机构应具有***的动特性,即具有高的频响。
 

　　7)微量进给机构应能实现微进给的自动控制。
 

　　现在用的微量进给装置有多种结构形式,其工作原理也各不相同,归纳起来有下面6种类型:机械传动或液压传动式;弹性变形式;热变形式;流体膜变形式;磁致伸缩式;压电陶瓷式。根据精密和超精密微量进给装置的要求,上述6种类型中,仅有弹性变形式和压电陶瓷式微量进给机构比较适用并比较成熟。下面介绍这两种典型的微量进给装置。